香蕉是果实吗:西安理工大学硅单晶炉关键技术及其应用项目获陕西高校科技一等奖

来源：百度文库 编辑：九乡新闻网 时间：2024/07/07 13:15:02
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2011年陕西高等学校科学技术奖优秀成果展示（1）
由西安理工大学校长刘丁等人共承担的“大尺寸全自动化硅单晶炉关键技术及其应用”项目在国外技术封锁，国内技术匮乏的情况下，通过自主研发，形成了一批大尺寸全自动化单晶炉的关键技术成果，日前获得2011年陕西高等学校科学技术奖一等奖。
该项目研制成功了国内第一台大型勾型磁场和用于大直径单晶炉的磁场控制系统，实现了我国在此领域技术零的突破，为拉制高品质硅单晶成为可能，解决了硅单晶提拉生长过程中拉速不稳定、波动较大的问题，开发了高清全数字图像处理系统，实现等径生长，获得了高品质的硅单晶；开发了全自动化网络化单晶炉电气控制系统，成功解决了在嵌入式系统中实现CANopen协议站的难关，实现了各种模块无缝接入系统，极大简化了系统的布线和接地抗干扰问题。系统整体获得欧洲CE认证。研制成功高精度激光液位检测及控制技术，解决了现有激光测绝存在数据不稳定，干扰因素多的问题。
本项目在研究过程中申请专利19件，其中申请美国发明专利2件，授权发明专利8件，授权实用新型专利7件，在国内外期刊（包括SCI一区二区）发表相关论文10多篇，制定行业标准1部。本项目的技术成果于2007年通过由科技部863计划办公室的验收。专家一致评价：该项目填补了国内12英吋无位错硅单晶生长设备的空白。
从2004年开始，项目组以陕西省晶体生长设备工程技术研究中心为技术依托，以西安理工晶体科技有限公司为成果转化基地，目前已在国内外20多个晶体生长企业推广应用280多台单晶炉，产值超过2.3亿元，实现利润超过3000万元，并出口到芬兰、韩国等国家，相关技术经过美国应用材料公司的产品质量测试，并获得欧盟颁发的CE认证和国际单晶炉设备生产知名企业德国PVA TEPLA公司的高度评价。
大尺寸高端单晶炉的开发，有力促进我国集成电路高端装备制造业发展，提升我国新材料领域特别是战略性新兴产业太阳能光伏产业的自主创新能力和水平。对于我省的经济转型和延长产业链，起到了示范作用，并将引领陕西新兴产业的装备制造业向高端化发展，迅速提升陕西乃至全国的单晶炉技术水平，保持技术领先地位，打破国外大公司对高端电子级单晶炉的技术垄断，为我省经济做出积极的贡献。
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